Мініатюризація датчиків та технології чіпів

Мікроелектромеханічна система (MEMS)-це мікросистема або пристрій, який інтегрує мікромеханізм, мікро-сенсори, мікро-актуатори, керування, обробка сигналів, зв'язок, інтерфейси, джерела живлення тощо. Це технологія проектування, обробки, виготовлення, вимірювання та управління мікро/нано матеріалів.

Технологія MEMS включає: кремнієву технологію мікромахіну, глибоке реагування на іонне травлення, технологія ліги, технологія молекулярної збірки, об'ємне мікромашинування, поверхневе мікромашинг, лазерне мікромашинування та технології мікропакуації.

Технологія кремнію мікромашина - це основна технологія MEMS. Це точна тривимірна технологія обробки. Це технологія розробки датчиків, мікроактуаторів, мікроактуаторів та мікромеханічних систем. Він успішно використовувався для виготовлення різних мікро-сенсорів та багатофункціональних чутливих елементів масивів. Такі як мікросліконові ємнісні датчики, датчики мікросліконового масового потоку, динамічні датчики та мікроензерсори для аерокосмічного, автомобільного тиску та датчиків прискорення, мікрохімічні датчики охорони навколишнього середовища тощо.

Інтеграційна технологія сенсорних масивів та композити параметрів з багатогранним

Інтеграція відноситься до інтеграції множинних функцій зондування з обробкою даних, зберіганням, двостороннім зв'язком тощо, такими як тиск, статичний тиск, температура три змінного датчика; тиск повітря, сила вітру, температура, вологість чотири змінного датчика; Датчик та датчик тиску Micro Silicon Composite та датчик масиву тощо, всі використовують технологію інтеграції. Процес інтеграції та багаторазова композитна датчика мікроструктури інтегрованого виробничого процесу, наприклад, тиск, статичний тиск, температура три змінного датчика, тиск повітря, сила вітру, температура, датчик тиску з чотирма змінами, датчик масиву мікро-кремнію, датчик масиву.

Існує два типи інтеграції датчиків: один полягає в створенні декількох модулів датчиків на мікросхемі за допомогою мікромобільної технології для формування лінійного датчика (наприклад, датчика зображення CCD); Інший полягає у створенні чутливих компонентів з різними функціями на одному кремнієвому мікросхемі, щоб зробити інтегрований багатофункціональний датчик з високою інтеграцією, невеликим розміром та легкою компенсацією та корекцією.