Які види металевих плівок можна отримати в процесі PVD вакуумного гальванічного покриття електронагрівальних трубок?

Які види металевих плівок можна отримати в процесі PVD вакуумного гальванічного покриття електронагрівальних трубок?

 

Алюміній (AL), титан (Ti), нітрид титану (TiN), кобальт (Co).

 

Як правило, коли пластина потрапляє в машину PVD, вона повинна бути покрита титаном/нітридом титану/алюмінієм/титаном/нітридом титану. П'ять шарів металу.

 

Функція кобальту - силіцид металу (силіцид).

Який принцип процесу PVD вакуумної гальванічної електричної нагрівальної трубки?

 

 

Висока різниця потенціалів додається між мішенню та пластиною. У цей час технологічний газ Ar дисоціює на Ar plus під високою різницею потенціалів, і оскільки Ar plus позитивно заряджений і притягується електричним полем, він стикається з мішенню, змушуючи мішень утворювати металеві зерна, які падають під дією сили тяжіння. . До вафлі утворити плівку. Цей процес є PVD.

Яка мета вакуумної гальванічної електричної нагрівальної трубки?

 

У PVD мішенню є металевий матеріал, який використовується для створення плівки.

Основний принцип вакуумного гальванічного електричного нагріву трубки PVD покриття мішені

 

Основний принцип технології фізичного осадження з парової фази можна розділити на три етапи обробки:

 

(1) Випаровування матеріалу покриття, тобто випаровування матеріалу покриття, яке не схоже на напилення.

 

(2) Міграція гальванічних атомів, молекул або іонів: різні реакції відбуваються після зіткнення атомів, молекул або іонів.

 

(3) Атоми, молекули або іони гальванічного покриття осідають на підкладку.

Вакуумна гальванічна електрична нагрівальна трубка з PVD покриттям?

 

Фізичне осадження з парової фази (PVD) — це технологія підготовки тонкої плівки, яка фізично випаровує поверхню мішені на газоподібні атоми, молекули або частини, іонізовані в іони в умовах вакууму. Функціональна плівка наноситься на поверхню підкладки. Основні методи фізичного осадження з парової фази включають вакуумне випаровування, осадження розпиленням, електродугове плазмове покриття, іонне покриття тощо. Швидкість осадження плівки PVD є високою, міцною адгезією, хорошою дифракцією та широким спектром застосувань.

www.superbheater.com