Обладнання для вакуумного гальванічного магнетронного розпилення важкої мішені
Залишити повідомлення
Обладнання для вакуумного гальванічного магнетронного розпилення важкої мішені
Цільове джерело поділяється на збалансоване і незбалансоване. Збалансоване джерело мішені має рівномірне покриття, а покриття незбалансованого джерела мішені має сильну силу зв’язку з підкладкою. Збалансовані мішені в основному використовуються для напівпровідникових оптичних плівок, а незбалансовані мішені в основному використовуються для декоративних плівок.
Незалежно від рівноваги та нерівноважності, якщо магніт нерухомий, характеристики його магнітного поля визначають, що цільовий рівень використання зазвичай становить менше 30 відсотків. Щоб збільшити коефіцієнт використання матеріалу мішені, можна використовувати обертове магнітне поле. Однак обертове магнітне поле вимагає обертового механізму, і швидкість розпилення повинна бути зменшена в той же час. Обертові магнітні поля в основному використовуються для великих або дорогих
Важка мішень. Наприклад, напилення напівпровідникової плівки. Для невеликого обладнання та загального промислового обладнання часто використовується статичне джерело мішені магнітного поля.
За допомогою джерел магнетронної мішені легко напилювати метали та сплави, а запалювання та напилення зручні. Це тому, що мішень (катод), плазма та вакуумна камера розпиленої частини можуть утворювати ланцюг. Але якщо напилення ізоляторів, таких як кераміка, ланцюг розривається.
Вакуумне гальванічне обладнання магнетронного напилення включає багато видів
Існує багато видів вакуумного магнетронного напилення покриттів. Кожен має різні принципи роботи та об’єкти застосування. Але у них є одна спільна риса: взаємодія магнітного поля з електронами змушує електрони обертатися по спіралі навколо поверхні мішені, тим самим збільшуючи ймовірність попадання електронів на газ аргон для утворення іонів. Місце
Згенеровані іони потрапляють на поверхню мішені під дією електричного поля, щоб розпорошити мішень.
У розвитку останніх десятиліть постійні магніти були поступово прийняті, а котушки магнітів використовуються рідко.
www.superbheater.com
