Технічні вимоги до машини для вакуумного нанесення покриття
Залишити повідомлення
Технічні вимоги до машини для вакуумного нанесення покриття
1. Структура обладнання має бути розумною за плануванням, красивою на вигляд, простою в експлуатації та обслуговуванні.
2. Структура та розмір статичних і динамічних ущільнень в обладнанні повинні відповідати положенням GB/T 6070 і JB/T 1090-1092.
3. Вакуумметри повинні бути встановлені на низько- та високовакуумних трубах і камерах покриття для вимірювання тиску кожної частини відповідно.
4. Якщо вакуумний блок обладнання використовує дифузійний насос як головний насос, на вході повітря дифузійного насоса слід встановити перегородку або холодну пастку.
5. У кімнаті для нанесення покриття має бути оглядове вікно, а на оглядовому вікні повинні бути встановлені антипроменеві лінзи для обладнання, яке генерує випромінювання під час процесу нанесення покриття.
6. Обладнання з пристроєм для випікання заготовок повинно мати електроди для вимірювання температури або прилади для вимірювання температури.
7. Швидкість обертання механізму обертання тримача заготовки повинна відповідати вимогам конструкції продукту.
8. Обладнання, оснащене пристроєм іонного бомбардування або пристроєм із джерелом іонів низької енергії широкого променя, має бути здатним працювати безперервно та стабільно протягом більше 30 хвилин у межах параметрів, зазначених у вимогах до конструкції продукту.
9. Нагрівач із використанням вольфрамового дроту як джерела тепла при випаровуванні має забезпечувати нормальне випаровування матеріалу, що випаровується, а геометрія нагрівача не повинна впливати на нормальне випаровування під час процесу випаровування.
10. Робочий стан джерела випаровування обладнання має бути стабільним і легким для регулювання та контролю. Технічні вимоги до різних джерел випаровування (таких як резистивні джерела випаровування, джерела електронно-променевого випаровування, джерела іонно-променевого випаровування, лазерні джерела випаровування, індукційні джерела випаровування тощо) повинні бути визначені відповідно до відповідних стандартів на продукцію.
11. Якщо обладнання використовує джерело випаровування низької напруги з високим опором струму, кожен нагрівач джерела випаровування повинен нормально працювати при напрузі від 4 В до 20 В і струмі від 50 А до 180 А.
www.superbheater.com
