Використовуйте етапи вакуумної машини для нанесення покриттів

Використовуйте етапи вакуумної машини для нанесення покриттів

1. Увімкніть водяний насос і джерело повітря.

2. Увімкніть основне живлення.

3. Увімкніть джерело живлення насоса обслуговування та вакуумметра, і положення вакуумметра буде V1, зачекайте, поки значення стане менше 10, а потім перейдіть до наступного кроку. Це займає близько 5 хвилин.

4. Увімкніть механічний насос, попередній насос, увімкніть живлення турбомолекулярного насоса та запустіть його. Перемістіть перемикач вакуумметра в положення V2, і знадобиться приблизно 20 хвилин, поки насос не стане менше 2.

5. Після того, як показання турбомолекулярного насоса досягне 250, вимкніть попереднє відкачування, відкрийте передній насос і клапан високого вакууму та продовжуйте вакуумування. Після того, як вакуумування досягне певного рівня, датчик високого вакууму праворуч можна відкрити, щоб спостерігати за ступенем вакууму. Електронна гармата не може бути включена, доки вакуум не досягне 2×10-3.

Той, на який необхідно нанести покриття, називається підкладкою, а матеріал, на який потрібно нанести покриття, називається мішенню. Підкладка і мішень знаходяться в одній вакуумній камері.

Випарювальне покриття зазвичай нагріває мішень, щоб компоненти поверхні випаровувалися у формі радикалів або іонів. І він осідає на поверхні субстрату з утворенням тонкої плівки в процесі плівкоутворення (розсіяна острівцеподібна структура-вагальна структура-шарове зростання). Для покриття напиленням це можна просто розуміти як бомбардування мішені електронами або високоенергетичними лазерами, розпилення поверхневих компонентів у формі атомних груп або іонів і, нарешті, осадження на поверхні підкладки, проходячи через плівку. процес формування та, нарешті, формування тонкої плівки.

www.superbheater.com