Машина для нанесення вакуумного покриття використовує джерело живлення високої частоти, а в контур додається потужний конденсатор.

Машина для нанесення вакуумного покриття використовує джерело живлення високої частоти, а в контур додається потужний конденсатор.

Для вирішення цієї проблеми було винайдено магнетронне реактивне розпилення. Тобто використання металевої мішені, додавання аргону та реактивного газу, такого як азот або кисень. Коли металева мішень потрапляє на деталь, вона поєднується з реактивним газом, утворюючи нітриди або оксиди внаслідок перетворення енергії.

За допомогою джерел магнетронної мішені легко напилювати метали та сплави, а запалювання та напилення зручні. Це тому, що мішень (катод), плазма та вакуумна камера розпиленої частини можуть утворювати ланцюг. Але якщо напилення ізоляторів, таких як кераміка, ланцюг розривається. Тому люди використовують високочастотне джерело живлення та додають потужний конденсатор до петлі. Таким чином цільовий матеріал стає конденсатором в ізоляційному ланцюзі.

Щоб збільшити коефіцієнт використання цільового матеріалу, машина для вакуумного покриття може використовувати обертове магнітне поле

Взаємодія між магнітним полем і електронами використовується для того, щоб змусити електрони рухатися у формі спіралі поблизу поверхні мішені, тим самим збільшуючи ймовірність попадання електронів у газ аргон для генерації іонів. Згенеровані іони потрапляють на поверхню мішені під дією електричного поля, щоб розпорошити мішень. У розвитку останніх десятиліть постійні магніти були поступово прийняті, а котушки магнітів використовуються рідко. Незалежно від балансу чи дисбалансу, якщо магніт нерухомий, характеристики його магнітного поля визначають, що загальний цільовий рівень використання становить менше 30 відсотків. Щоб збільшити коефіцієнт використання матеріалу мішені, можна використовувати обертове магнітне поле. Але для обертання магнітного поля потрібен механізм обертання, і в той же час швидкість розпилення зменшується.

www.superbheater.com