Температура поверхні вакуумно-формувальної машини електронно-променевого покриття пропорційна інтенсивності електронного променя

Температура поверхні вакуумно-формувальної машини електронно-променевого покриття пропорційна інтенсивності електронного променя

Температура поверхні плівок і оброблених деталей пропорційна інтенсивності електронного променя. Інтенсивність електронного променя можна контролювати, контролюючи струм, що надходить до нитки розжарювання, тим самим контролюючи температуру поверхні тонкоплівкового матеріалу та деталей, що оброблюються.

Електронно-променева машина для вакуумного формування повинна спочатку нагріти нитку

Коли електронно-променева установка для нанесення покриттів працює, нитку необхідно попередньо нагріти. Струм попереднього нагріву нитки становить 60-90A, а час попереднього нагрівання більше 20 хвилин. Після нагрівання нитки розжарення потенціальна енергія електронів у нитці (катоді) збільшується, готуючись до випромінювання електронів. У цей час при включенні напруги 20KV]JI~ (2) нитка (катод) починає випромінювати електрони під дією електричного поля. Під спільною дією системи фокусування, відхиляючої котушки та прискорювальної напруги електрони, випромінювані ниткою розжарення (катодом), збираються в промінь і випромінюються на плівковий матеріал або частину, що підлягає обробці, з дуже високою швидкістю.

Заходи щодо поліпшення плівкового шару обладнання для вакуумного нанесення:

(1) Випікати після покриття. Після накриття останнього шару плівки не припиняйте випічку відразу, а продовжуйте «гартувати» протягом 10 хвилин. Зробіть структуру плівки більш стабільною.

(1) Час охолодження відповідно подовжується, і здійснюється старіння під час відпалу. Зменшити термічну напругу, спричинену надмірною різницею температур між внутрішньою та зовнішньою вакуумною камерою.

(2) Під час процесу випаровування плівки з високим відбиттям і фільтрувальної плівки температура підкладки не повинна бути надто високою, і висока температура легко створює термічний стрес. І це негативно впливає на оптичну стабільність оксиду титану, оксиду танталу та інших плівкових матеріалів.

(iii) Процес покриття за допомогою іонів для зменшення стресу.

(iv) Виберіть відповідну плівкову систему для відповідності, відповідність між першим шаром плівкового матеріалу та підкладкою. (Наприклад, п’ятишарова плівка проти відблиску використовує Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2; ZrO2 також може використовувати SV -5 (змішаний плівковий матеріал ZrO2 TiO2) або інший змішаний плівковий матеріал із високим показником заломлення.

(V) Належним чином зменшити швидкість випаровування (Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S базова швидкість)

(vi) Усі матеріали оксидної плівки наповнені киснем і мають реактивне покриття, а кількість споживання кисню контролюється відповідно до різних матеріалів плівки.

www.superbheater.com