Імовірність нанесення плівки Al на підкладку вакуумного нанесення рівна
Залишити повідомлення
Імовірність нанесення плівки Al на підкладку вакуумного нанесення рівна
Використовується електронно-променеве випаровування машини для вакуумного покриття, планетарний механізм рівномірно обертається під час нанесення плівки, і ймовірність кожної підкладки при нанесенні плівки Al однакова; фокус планетарного механізму знаходиться в джерелі випаровування тигля, а швидкість осадження кожного субстрату знаходиться під певним ступенем вакууму. майже рівні. За допомогою методу магнетронного розпилення на машині для нанесення вакуумного покриття, оскільки струм осадження та цільову напругу можна контролювати, тобто потужність розпилення можна регулювати та контролювати, контрольованість та повторюваність товщини плівки хороші, і її можна використовувати на більші поверхні. Отримали плівку рівномірної товщини.
Товщина алюмінієвої плівки машини для вакуумного покриття безпосередньо впливатиме на інші властивості алюмінієвої плівки
Дуже важливо суворо контролювати товщину плівки Al, оскільки товщина плівки Al безпосередньо впливатиме на інші властивості плівки Al, тим самим впливаючи на надійність напівпровідникового пристрою. Для силової трубки з високим зворотним тиском її робоча напруга висока, а струм великий. Без певної товщини металевої плівки щільність струму на алюмінієвій плівці на одиницю площі буде занадто високою, що легко спалити. Для звичайних напівпровідникових пристроїв, якщо шар Al занадто тонкий, безперервність плівки погана, і вона має острівну або сітчасту структуру, що ускладнює з’єднання проводів, ускладнюючи або слабке з’єднання, таким чином впливаючи на врожайність; шар Al Якщо він надто товстий, під час фотолітографії малюнок не можна чітко побачити, що ускладнює корозію та схильне до корозії країв і явища «з’єднання».
www.superbheater.com
