Процес витягування монокристалів у монокристалічній печі

Процес витягування монокристалів у монокристалічній печі

Спочатку помістіть полікремнієву сировину високої чистоти в кварцовий тигель високої чистоти та розплавте її за допомогою високої температури, створюваної графітовим нагрівачем; потім трохи охолодіть рідину розплавленого кремнію, щоб отримати певний ступінь переохолодження, і використовуйте інший. Монокристал кремнію (званий затравковим кристалом), закріплений на валу затравкового кристала, вставляється в поверхню розплаву. Після того як затравковий кристал розплавиться з розплавом, повільно потягніть затравковий кристал вгору, і кристал виросте на нижньому кінці затравочного кристала; потім контролюйте затравковий кристал. Кристал вирощується на ділянці приблизно 100 м у печі для вирощування монокристалічного кремнію з вузькою шийкою діаметром від 3 до 5 мм, яка використовується для усунення дислокації розташування атомів, викликаної сильним тепловим ударом високотемпературного розчину. на затравковий кристал. Цей процес є посівом; Потім збільште діаметр кристала до розміру, необхідного для процесу, зазвичай 75-300 мм. Цей процес називається установкою плеча; потім раптово збільште швидкість витягування та виконайте операцію обертання плеча, щоб зробити плече приблизно під прямим кутом; потім увійдіть у процес рівного діаметру та контролюйте температуру теплового поля та швидкість підйому кристала, щоб виростити монокристалічний стовпчик певного діаметру та розміру; нарешті, коли більша частина розчину кремнію кристалізується, кристал поступово зменшується, утворюючи конус у формі хвоста, що називається процесом обробки; Такий процес малювання одного кристала в основному завершено, і його можна витягнути після певного збереження тепла та охолодження. Метод Чохральського ще називають методом Й.Чохральського. Цей метод є методом вирощування кристалів, створеним Чеклауші ще в 1917 році. Обладнання та процес для вирощування монокристалів за методом Чохральського є відносно простими, легкими для реалізації автоматичного керування, високою ефективністю виробництва та простими у виготовленні монокристалів великого діаметру. Легко контролювати концентрацію домішок в монокристалі, і можна отримати монокристал з низьким питомим опором. За статистикою, від 70% до 80% світового виробництва монокристалів кремнію виробляється методом Чохральського.

www.superbheater.com