Очищення графітових частин монокристалічної печі
Залишити повідомлення
Очищення графітових частин монокристалічної печі
1) Графітові деталі необхідно очистити у призначеній кімнаті для чищення, а також підготувати засоби для чищення (вакуумну щітку, паперовий рушник, вакуумну трубку, абразивну тканину, ексклюзивні засоби для видалення частинок кремнію, чистий візок для графітових частин тощо). , і слід носити рукавички , Пилозахисні маски. Очистіть стіл для прибирання та навколишнє середовище.
2) Очистіть усі типи графітових частин вакуумною щіткою по черзі, доки не буде підтверджено відсутність бруду. Деталі, які поглинають більше летючих речовин, наприклад канавки та межі, слід ретельно відполірувати абразивною тканиною, а потім пропилососити та очистити.
3) Під час очищення перевірте, чи немає на графітових частинах пошкоджень і липкого кремнію. Пошкоджений і липкий силікон необхідно вчасно замінити та утилізувати.
4) Поводьтеся обережно, щоб уникнути пошкодження графітових частин під час роботи.
5) Покладіть очищені графітові частини на заздалегідь підготовлений чистий візок з нержавіючої сталі. Не накладайте, а пересувайте візок з нержавіючої сталі стабільно.
6) Після прибирання помістіть сміття у відведене місце для сміття та очистіть стіл для прибирання та навколишнє середовище.
Перевірка та заміна масла вакуумного насоса монокристалічної печі
a. Обов’язково закрийте кульовий кран головного насоса та вакуумного насоса, повісьте картку технічного обслуговування на монокристальну піч із зливом масла, помістіть ємність із відпрацьованим маслом під зливний отвір вакуумного насоса, увімкніть перемикач зливу масла на верхню та нижню камери та закрийте маслозливні клапани верхньої та нижньої камер після зливу масла. , Налийте відпрацьоване масло у призначені для цього бочки для масла.
b. Очистіть вакуумний насос (один раз на 5 печей), за допомогою ключа відкрийте бічну кришку вакуумного насоса, помістіть її у відповідне положення та ретельно очистіть рушником порожнину вакуумного насоса, бічну кришку та масляний фільтр у нижня порожнина. Після очищення встановіть фільтр. , Встановіть бічну кришку. Будьте обережні, відкриваючи та встановлюючи бічну кришку, щоб запобігти пошкодженню бічної кришки та сальника, а також витоку мастила. Забороняється залишати в порожнині насоса клаптики паперу або інші сторонні предмети, інакше це призведе до блокування масляного контуру та заклинювання вакуумного насоса. Відходи від очищення вакуумного насоса викидають у відро для сміття.
www.superbheater.com
