Монокристалічна піч, заповнена газом аргон, потужність літр, плавка матеріалу
Залишити повідомлення
Монокристалічна піч, заповнена газом аргон, потужність літр, плавка матеріалу
a. Після усунення витоку та проходження тесту ввімкніть живлення вакуумного насоса.
b. Повільно відкрийте кульовий кран.
в. Увімкніть систему заправки аргоном і відрегулюйте швидкість потоку аргону у допоміжній камері на рівні 20~30 л/хв, щоб стабілізувати тиск у печі на рівні 1000~1500 Па.
d. Увімкніть вимикач опалення.
д. Відповідно до наведеної нижче таблиці збільшуйте потужність крок за кроком через європейський лічильник. Кожне нагрівання відповідно фіксується. З використанням єврометра слід поводитися обережно, щоб запобігти швидкому збільшенню потужності, яке може призвести до миттєвого перевантаження трансформатора або спричинити миттєве надлишкове збільшення струму в усьому контурі опалення та спричинити займання чи пошкодження. Нагрівання слід проводити в суворій відповідності з послідовністю нагрівання, інакше температура може різко підвищитися і спричинити тріщину кварцового тигля та витік кремнію.
Сила часу
0хв. 50 кВт
30 хв 70 кВт
60 хв<100KW
f. Під час плавлення завжди звертайте увагу на ситуацію в печі. Якщо аномального колапсу немає, тигель встановлюють на обертання 2 об/хв, а відповідне положення тигля піднімають. І зробити відповідні записи. Піднімаючи тигель, будьте обережні, щоб поверхня кремнієвої рідини не торкалася нижнього краю направляючої трубки. Піднявши горщик, переконайтеся, що горщик не має ніяких дій на шкалі положення горщика. Інакше відводна трубка прилипне до кремнію та спричинить пропуск кремнію.
g. Коли матеріал розплавиться, зменшіть потужність нагріву до температури затравки (відповідної печі). Встановіть горщик на 5~7 об/хв і зробіть відповідні записи.
ч. Коли значення єврометра падає до значення, що відповідає температурі посіву, виконується автоматичне включення, і горщик піднімається в стабільне положення посівного горщика, тобто відстань від направляючої трубки до поверхні рідини становить приблизно 15 мм. Положення ємності для посіву також можна визначити відповідно до збільшення/зменшення кількості подачі на основі завантаження печі. Додаткову інформацію дивіться в Додатку A. Довідкова таблиця зміни позиції висіву. І зробити відповідні записи.
www.superbheater.com
