Реактивне розпилення для вакуумного покриття електронагрівальних трубок широко використовується для осадження компаундних плівок
Залишити повідомлення
Реактивне розпилення для вакуумного покриття електронагрівальних трубок широко використовується для осадження компаундних плівок
Розвиток сучасної інженерії поверхні все більше вимагає використання різноманітних компаундних плівок, і технологія реактивного магнетронного напилення є одним із основних способів осадження компаундних плівок. Щоб осадити складні плівки з кількома компонентами, мішень із складних матеріалів можна використовувати для осадження розпиленням, або, коли розпилюють чисті металеві або сплавні мішені, можна ввести певний реактивний газ, наприклад кисень і азот, для реакції та осадження сполуки фільми. Це називається реактивним напиленням. Зазвичай чисті металеві мішені та реактивні гази легко отримати високої чистоти, тому реактивне розпилення широко використовується для осадження складних плівок.
Переваги вакуумного гальванічного покриття електронагрівальної трубки
перевага
висока швидкість осадження
щільна плівка
Хороша дифракційна здатність, сильна здатність покривати складні поверхні
Переваги та недоліки реактивного напилення для вакуумного гальванічного електронагрівання труб
(1) Реакція Матеріал мішені (одноелементна мішень або багатоелементна мішень) і реактивний газ (кисень, азот, вуглеводень тощо), що використовуються в магнетронному розпиленні, мають високу чистоту, що сприяє виготовленню високочистих складні плівки.
(2) Шляхом регулювання параметрів процесу реактивного магнетронного розпилення можна отримувати стехіометричні або нестехіометричні складові плівки, а властивості плівки можна регулювати шляхом регулювання складу плівки.
(3) Під час процесу осадження реактивним магнетронним розпиленням температура підкладки відносно мала, і підкладку зазвичай не потрібно нагрівати до високої температури під час процесу формування плівки, тому існує менше обмежень щодо матеріалу підкладки.
(4) Реактивне магнетронне розпилення підходить для виготовлення однорідних тонких плівок великої площі та може реалізувати промислове виробництво одномашинного річного виробництва мільйонів квадратних метрів покриття.
недолік
Схильний до отруєння цілей, зникнення анода та інших проблем
www.superbheater.com
