Чистота нанесення тонких плівок вакуумних гальванічних електронагрівальних труб
Залишити повідомлення
Чистота нанесення тонких плівок вакуумних гальванічних електронагрівальних труб
чистота джерела випаровування;
Можливе забруднення від нагрівальних приладів і тиглів;
Залишкові гази у вакуумній системі.
Фактори, що впливають на вакуумне випаровування вакуумних гальванічних електронагрівальних трубок
швидкість випаровування речовини
тиск пари елемента
Рівномірність нанесення тонкої плівки
Чистота нанесення тонкої плівки
Класифікація джерел випаровування для вакуумних гальванічних електронагрівальних труб
Резистивне нагрівання випаровування
Електронний промінь нагрівання випаровування
Дугове нагрівання випаровування
лазерне нагрівання випаровування
Процес осадження вакуумної гальванічної електричної нагрівальної трубки вакуумним випаровуванням складається з трьох етапів:
Вихідний матеріал випаровування перетворюється з конденсованої фази в газову;
Транспортування випарених частинок між джерелом випаровування та підкладкою;
Після того, як випарені частинки досягають підкладки, вони конденсуються, зароджуються, ростуть і утворюють плівку.
Іонний промінь і іонна допомога для вакуумної гальванізації електричної нагрівальної трубки
Двома найбільш основними методами фізичного осадження з парової фази є випаровування та розпилення, а також іонно-променевий та іонно-допоміжний методи.
Випаровування має певні переваги перед напиленням, включаючи більш високу швидкість осадження, відносно вищий рівень вакууму та, як наслідок, вищу якість плівки.
Метод напилення також має деякі власні переваги, включаючи легкий контроль хімічного складу при осадженні тонких плівок багатокомпонентного сплаву та кращу адгезію нанесеного шару до підкладки.
Три етапи процесу фізичного осадження з парової фази вакуумних гальванічних електронагрівальних труб:
виділяють частинки із сировини;
транспорт частинок до підкладки;
Частинки конденсуються, зароджуються, ростуть і утворюють плівки на підкладці.
Характеристика способу виготовлення вакуумної гальваніки електронагрівальної трубчастої плівки
Як вихідний матеріал для процесу осадження бажано використовувати твердий або розплавлений матеріал.
Вихідний матеріал проходить через фізичний процес у газову фазу.
Потрібне середовище з відносно низьким тиском газу.
У газовій фазі та на поверхні підкладки хімічна реакція не відбувається.
www.superbheater.com
