Прецизійна машина для нанесення оптичних покриттів магнетронним розпиленням

Прецизійна машина для нанесення оптичних покриттів магнетронним розпиленням

Система напилення має кілька циліндричних мішеней на бічній стінці для збільшення швидкості осадження та багатошарових покриттів. Система оснащена круглими катодами з імпульсним або радіочастотним струмом, вертикально встановленими підкладками та циліндричними катодами, щоб максимізувати забруднення частинками в процесі нанесення покриття, а ефективність виробництва та продуктивність плівки значно покращуються завдяки гнучкому поєднанню кількох порожнин.

Високоточна багатопорожнинна машина для нанесення оптичного покриття магнетронним розпиленням

Пристрій оснащено режимом постокислювального магнетронного розпилення з RF-ICP, який має високу швидкість осадження та відповідні оптичні властивості. Він підходить для нанесення AR-плівки на захисне скло автомобіля та переднє захисне скло продуктів 3C. Плівка AR може бути звичайною плівковою системою SiO2 + Nb2O5 або жорсткою плівковою системою SiO2 + Si3N4. У той же час він також підходить для обробки кольорової плівки задньої обкладинки продукту 3C (включаючи кольорову плівку з градієнтом) і плівки NCVM.

Машина для вакуумного нанесення покриттів Високоточна машина для нанесення оптичних покриттів магнетронним напиленням

Модульна конструкція обладнання може поєднувати блок плазмового очищення (Plasma-clean), блок магнетронного розпилення (SPT), блок хімічної реакції з плазмовим посиленням (PECVD), блок атомарного шарового осадження (ALD) і блок плазмохімічного травлення (RIE). ) підрозділ для розширення кластерного центру обробки мікро-нано, щоб охопити весь процес очищення підкладки, осадження плівок (включаючи ультратонкі плівки) і візерункове травлення для обробки напівпровідникових мікро-наноструктур.

Вакуумна машина для нанесення ультратовстого багатоелементного сплаву та ультратовстого нітридного покриття

Товщина безперервного осадження покриття з багатокомпонентного сплаву може досягати понад 120 мкм, тривимірне обертання однієї мішені може бути досягнуто більше або дорівнює 6,5 мкм/год, а безперервне осадження нітридного покриття становить більше 25 мкм , можна досягти тривимірного обертання однієї мішені, що перевищує або дорівнює 3 мкм/год, і твердість поверхні заготовки покращується. Передбачено нове рішення для ремонту лопаток авіадвигунів і ерозії краю лопаток парових турбін.

www.superbheater.com