Локальна концентрація струму у вакуумній машині для нанесення покриттів
Залишити повідомлення
Локальна концентрація струму у вакуумній машині для нанесення покриттів
Викинута частина точки високої густини електронів генеруватиме струм високої густини, а струм високої густини може генерувати тепло Джоуля та змусити температуру точки продовжувати зростати, випромінюючи гарячі електрони. Це явище призводить до локальної концентрації струму.
Джоулеве тепло, що утворюється локалізованою концентрацією струму, може викликати масову емісію іонів і електронів із матеріалу катода, вивільняючи частинки розплавленого матеріалу катода та залишаючи сліди розряду.
Частина іонів у великій кількості викинутих іонів буде всмоктуватися назад на поверхню матеріалу катода для регенерації шару просторового заряду та сильного електричного поля, а новостворена точка з малою роботою виходу знову почне випускати електрони .
Електрони випускаються з меж зерен вакуумних установок для нанесення покриттів
Іони металу притягуються до поверхні катода і можуть генерувати шар просторового заряду. Сильне електричне поле, яке спрацьовує протягом цього часу, викликає викид електронів із мікротріщин або меж зерен із малою роботою виходу на поверхню катода.
Вакуумна внутрішня стінка та анод цільового джерела машини для вакуумного покриття
Після багатьох зіткнень енергія електронів поступово зменшується, позбавляється від пут силових ліній магнітного поля і, нарешті, падає на підкладку, внутрішню стінку вакуумної камери та анод джерела мішені. Під прискоренням електричного поля високої напруги іони Ar plus стикаються з мішенню та вивільняють енергію, змушуючи атоми на поверхні мішені поглинати кінетичну енергію іонів Ar plus і відриватися від вихідної решітки, і нейтральні атоми мішені вилітають з поверхні мішені. Підлетіть до субстрату та нанесіть на нього тонку плівку.
www.superbheater.com
