Пояснення технології калібрування температури для високотемпературного термометра печі для відпалу

Повідомляється, що у високотемпературній печі для відпалу використовується замкнута система керування, що складається з прискореного цифрового контролера температури PLD, термопари, пірометра та джерела тепла для правильного контролю температури. Завдяки спільному управлінню галогенними лампами в різних областях різницю температур у кожній області можна компенсувати під час процесу контролю температури, зберігаючи температуру різних областей на підкладці незмінною. Через його встановлення на дні порожнини пірометр може отримувати випромінювання лише від тильної сторони підкладки та не може отримувати випромінювання від лампи. Тому пірометр може точно виміряти температуру субстрату. Принцип калібрування температури цього пірометра полягає в наступному:
1. Введення в пірометр:
Пірометр, представлений у цій статті, є оптичним пірометром теплового випромінювання. Коли пірометр отримує інфрачервоне випромінювання від вимірюваного об’єкта, оптичний сигнал фільтрується, фотоелектрично перетворюється та посилюється, щоб стати аналоговим сигналом, який потім передається на модуль схеми інтерфейсу сигналу датчика. Цей модуль виконує аналого-цифрове перетворення сигналу та перетворює його на цифровий сигнал, який може розпізнати комп’ютер. Цифровий сигнал, що надходить на комп’ютер, у наведеному нижче тексті називається значенням зворотного зв’язку пірометра.
2. Таблиця калібрування температури:
Згідно з відповідними законами, температура об'єкта пов'язана з його випромінюванням і спектральною випромінювальною здатністю. Для печей для високотемпературного відпалу кількість випромінювання, яке отримує пірометр, головним чином залежить від таких факторів, як матеріал підкладки, легування, шар природного оксиду на поверхні та температура підкладки. Для одного типу підкладки (тобто підкладки з однаковим матеріалом, легуванням і поверхневим шаром природного оксиду) кількість випромінювання, отриманого пірометром, пов’язана з температурою підкладки. Тому для одного типу підкладки значення зворотного зв’язку пірометра однозначно відповідає температурі підкладки. Ця відповідність становить дані калібрування температури, а таблиця калібрування температури використовується для зберігання даних про співвідношення між кількома температурами підкладки та значеннями зворотного зв’язку від пірометра. Різним значенням зворотного зв'язку пірометра відповідають різні температури. Комп’ютер печі для високотемпературного відпалу може розрахувати фактичну температуру підкладки на основі зворотного зв’язку значення сигналу від пірометра та таблиці калібрування температури.