Електромагнітні властивості та покращення оптичних тонких плівок для вакуумного осадження за допомогою пучка іонів срібла

Електромагнітні властивості та покращення оптичних тонких плівок для вакуумного осадження за допомогою пучка іонів срібла

Осадження за допомогою іонного променя може змінити електромагнітні властивості плівок і покращити характеристики оптичних тонких плівок.

Оскільки осадження за допомогою іонів може точно й незалежно регулювати відповідні параметри атомарного осадження та іонної імплантації, а також може безперервно генерувати покриття розміром у кілька мікрон із незмінним складом при низьких енергіях бомбардування, різноманітні покриття можна вирощувати при кімнатній температурі. Посівна плівка, щоб уникнути несприятливого впливу на матеріали або прецизійні деталі під час обробки при високих температурах.

Стійкість до корозії та стійкість до окислення вакуумного осадження за допомогою пучка іонів срібла

Осадження за допомогою іонного променя підвищує стійкість плівок до корозії та окислення. Завдяки щільному шару плівки, нанесеному шляхом осадження за допомогою іонного променя, покращення структури поверхні розділу основи плівки або зникнення меж зерен між частинками внаслідок утворення аморфного стану є корисним: сильна стійкість матеріалу до корозії і стійкість до високотемпературного окислення.

Нанесення вакуумного сріблення за допомогою іонного променя змінює властивості напруги плівок

Осадження за допомогою іонного променя може змінити властивості напруги плівки та зміни її кристалічної структури. Наприклад, коли плівка Cr була виготовлена ​​з 11,5 кеВ Xe плюс або Ar плюс, які бомбардували поверхню підкладки, було виявлено, що регулювання таких параметрів, як температура підкладки, енергія бомбардуючих іонів і коефіцієнт прибуття іонів до атомів може змінити напругу від напруги розтягу до напруги стиску. Також відбуваються зміни кристалічної структури плівки. Наприклад, при певному співвідношенні кількості іонів до атомів осадження за допомогою іонного променя має кращу орієнтацію, ніж плівки, нанесені термічним випаровуванням.

Покращені механічні властивості плівок шляхом вакуумного осадження за допомогою пучка іонів срібла

Осадження за допомогою іонного променя може покращити механічні властивості плівки, подовжити термін служби втоми та дуже підходить для отримання оксидів, карбідів, кубічного BN, TiB та алмазоподібних покриттів. Наприклад, коли плівка SiN товщиною 200 нм вирощується на жаростійкій сталі 1Cr18Ni9Ti за допомогою технології осадження за допомогою іонного променя, вона може не тільки перешкоджати появі втомних тріщин на поверхні матеріалу, але й значно зменшити швидкість дифузії втомних тріщин, що добре впливає на продовження його життя.

www.superbheater.com